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“集成电路前道高产能深紫外光刻工艺涂胶显影设备研发”项目顺利通过结题验收

发布时间:2021-07-13  来源:信息技术发展与产业化处

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   日前RAYBET雷竞技官网-欢迎您!,由沈阳芯源微电子设备股份有限公司牵头承担的2019年度辽宁省科技重大专项“集成电路前道高产能深紫外光刻工艺涂胶显影设备研发”项目已顺利结题验收RAYBET雷竞技官网-欢迎您!。 

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  该项目的顺利实施,在前道工序深紫外光刻工艺涂胶显影设备领域率先实现国产化RAYBET雷竞技官网-欢迎您!,打破西方发达国家对高技术产品RAYBET雷竞技官网-欢迎您!RAYBET雷竞技官网-欢迎您!,特别是高端集成电路设备的垄断与控制RAYBET雷竞技官网-欢迎您!,是解决国产半导体装备的卡脖子短板项目RAYBET雷竞技官网-欢迎您!,对促进我国集成电路产业的健康发展RAYBET雷竞技官网-欢迎您!、东北老工业基地的战略升级具有重要意义RAYBET雷竞技官网-欢迎您!RAYBET雷竞技官网-欢迎您!。 

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